内容简要 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层（以下简称碳化硅涂层）的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主…
T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层
主要起草人：于伟华、王彬、田新、张春伟
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司
T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层
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T/CNIA 0011-2019标准状态
- 发布于：2019-02-13
- 实施于：2019-06-01
- *非实时更新以实际为准