内容简要 离子束辐照技术可使准直的纳米线或平面的纳米薄膜由于应变而在三维空间产生弯曲或折叠，在构建高性能的三维微纳电子器件、光电器件和光学元件等领域具有重要应用价值。本标准提供一种利用离…
T/BSPT 002-2018 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
主要起草人：顾长志、刘哲、李无瑕、杨海方、李俊杰
起草单位：中国科学院物理研究所
范围：本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。