国家标准 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
起草单位：南京国盛电子有限公司、宁波立立电子股份有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。
起草人：马林宝 、唐有青 、刘培东 、李静 、金龙 、吕立平 。
GB/T 14146─2009 硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容─电压法
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GB/T 14146-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- *非实时更新以实际为准