国家标准 碳化硅单晶抛光片
GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片
起草单位:北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
起草人:陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 、刘春俊 、刘振洲 。
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