国家标准 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
起草单位：中北大学、中机生产力促进中心。
起草人：石云波 、唐军 、程红兵 、崔建功 、李海斌 、朱悦 。
GB/T 34899─2017 微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法
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GB/T 34899-2017标准状态
- 发布于：2017-11-01
- 实施于：2018-05-01
- *非实时更新以实际为准