GB/T 34971─2017 半导体制造用气体处理指南

国家标准 半导体制造用气体处理指南

GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

起草单位：中昊光明化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司、高麦仪器公司、广东华特气体股份有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院。

起草人：孙福楠 、牛艳东 、廖恒易 、杜汉盛 、王鸿 、方华 、陈鹰 、周鹏云 。