GB/T 12964─2018 硅单晶抛光片

国家标准 硅单晶抛光片

GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片

起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、有色金属技术经济研究院、天津市环欧半导体材料技术有限公司。

起草人：孙燕 、卢立延 、徐新华 、张海英 、楼春兰 、杨素心 、潘金平 、张雪囡 。