内容简要 本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体第2部分固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。…
T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
主要起草人：傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影
起草单位：徐州博康信息化学品有限公司
范围：本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。
T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
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T/ICMTIA 4.2-2020标准状态
- 发布于：2020-12-31
- 实施于：2021-03-01
- *非实时更新以实际为准