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T/ICMTIA pc008-2021 集成电路用硝酸

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集成电路用硝酸简介

内容简要 本文件规定了集成电路用硝酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。本文件适用于集成电路制造过程中使用的硝酸。分子式:HNO3相对分子质量:63.01(按2014…

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主要起草人:陈刚、周黎旸、童继红、张学良、贺辉龙、赵晓亚、程文海、朱智敏、蒋梁疏、杨建成、徐建仙

起草单位:中巨芯科技有限公司

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