国家标准 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
GB/T 29658-2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、宁波江丰电子材料有限公司、新疆众和股份有限公司。
起草人：万小勇 、罗俊锋 、廖赞 、尚再艳 、杨华 、朱晓光 、孙秀霖 。
GB/T 29658─2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
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GB/T 29658-2013标准状态
- 发布于：2013-09-06
- 实施于：2014-05-01
- *非实时更新以实际为准