国家标准 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、中国电子技术标准化研究院。
起草人：丁丽 、周智慧 、郝建民 、蔺娴等 。
GB/T 30868─2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
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GB/T 30868-2014标准状态
- 发布于：2014-07-24
- 实施于：2015-02-01
- *非实时更新以实际为准