国家标准 碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
起草人：陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。
GB/T 32278─2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
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GB/T 32278-2015标准状态
- 发布于：2015-12-10
- 实施于：2017-01-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 碳化硅单晶片平整度测试方法
GB/T 32278-2015 碳化硅单晶片平整度测试方法
起草单位：北京天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所。
起草人：陈小龙 、郑红军 、张玮 、郭钰 。