GB/T 34894─2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

国家标准 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

起草单位：中机生产力促进中心、天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学。

起草人：胡晓东 、郭彤 、程红兵 、于振毅 、李海斌 、崔波 、朱悦 、裘安萍 。