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GB/T 34898─2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

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GB/T 34898-2017标准状态

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微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法简介

国家标准 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法

起草单位:北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。

起草人:李庆丰 、金小锋 、李海斌 、朱悦 、程红兵 。

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