国家标准 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
起草单位:北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。
起草人:李庆丰 、金小锋 、李海斌 、朱悦 、程红兵 。
国家标准 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
GB/T 34898-2017 微机电系统(MEMS)技术 MEMS谐振敏感元件非线性振动测试方法
起草单位:北京遥测技术研究所、中机生产力促进中心。
起草人:李庆丰 、金小锋 、李海斌 、朱悦 、程红兵 。