国家标准 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
起草单位：南京国盛电子有研公司、有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司。
起草人：马林宝 、骆红 、杨帆 、刘小青 、陈赫 、张海英 。
GB/T 14142─2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
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GB/T 14142-2017标准状态
- 发布于：2017-09-29
- 实施于：2018-04-01
- *非实时更新以实际为准