GB/T 38446─2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

此标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。

此标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。

GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

起草人：张威 、李海斌 、张亚婷 、朱悦 、夏长奉 、石云波 、陈得民 、马书嫏 、程红兵 、周浩楠 。