GB/T 38447─2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

此标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。

此标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。

GB/T 38447-2020 微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

起草人：张威 、张亚婷 、于振毅 、陆学贵 、朱悦 、石云波 、李海斌 、程逸轩 、周浩楠 、陈得民 。