此标准界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。
此标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
GB/T 26111-2023 微机电系统（MEMS）技术 术语
起草单位：中机生产力促进中心有限公司、西安知微传感技术有限公司、苏州大学、北京大学、无锡华润上华科技有限公司、中国科学院空天信息创新研究院、北京航空航天大学、上海交通大学、天津大学、北京航天控制仪器研究所、西安现代控制技术研究所、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、北京晨晶电子有限公司、天津新智感知科技有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中国科学院微电子研究所、广州广电计量检测股份有限公司、南京高华科技股份有限公司、杭州左蓝微电子技术有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、江苏普诺威电子股份有限公司、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司。
起草人：顾枫 、宋秀敏 、李根梓 、孙立宁 、张大成 、夏长奉 、夏善红 、董全林 、张卫平 、胡晓东 、刘会聪 、邢朝洋 、刘奎 、熊斌 、张永斌 、张威 、崔波 、陈得民 、王玮冰 、明志茂 、李晓波 、SHUMINZHANG 、张宾 、张胜兵 、杨飞 、高峰 。